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简要描述：Filmtek 4500反射和透射膜厚测量仪利用新的多角度差分极化测量（MADP）技术与SCI patented的差分功率谱密度（DPDS）技术相结合，提供了一种在工业中具有佳的分辨率、准确度和可重复性的光学薄膜计量工具。通过提供更高的精度和准确度，FilmTek 4500使后期集成电路生产过程中的薄膜过程控制更加严格，从而提高了整个器件的产量。
产品型号：厂商性质：代理商更新时间：2019-02-03访 问 量：664产品分类
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| 品牌 | 其他品牌 | 价格区间 | 面议 |
|---|
Measurement Features | FilmTek™ 4000 / 4500 |
Index of Refraction折射率 | ±0.00002 |
Thickness Measurement Range 膜厚范围 | 3nm-350µm |
Maximum Spectral Range (nm) 大光谱范围 | 190-1700nm |
Standard Spectral Range (nm) 标准光谱范围 | 380-1000nm |
Reflection 反射 | Yes |
Transmission 透射 | Yes(4500) |
Spectroscopic Ellipsometry 椭圆光谱技术 | No |
Power Spectra Density 功率谱密度 | Yes |
Multi-angle Measurements 多角度测量(DPSD) | Yes |
TE & TM Components of Index TE和TM成分指数 | Yes |
Multi-layer thickness 多层厚度 | Yes |
Index of Refraction 折射率 | Yes |
Extinction (absorption) Coefficient 消光(吸收)系数 | Yes |
Energy band gap 能带隙 | Yes |
Composition 组成 | Yes |
Crystallinity 结晶度 | Yes |
Inhomogeneous Layers 非均匀层 | Yes |
Surface Roughness 表面粗糙度 | Yes |
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